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Avantgarde緊湊型室溫手動(dòng)探針臺的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個(gè)測試平臺，外接不同的測量儀器，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測，用于室溫下超小芯片晶圓和器件的非破壞性測試。

SPSM系列緊湊型室溫手動(dòng)探針臺是一款經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、入門級的探針臺，能夠?qū)?寸、4寸晶圓片進(jìn)行大量非破壞性的、標(biāo)準(zhǔn)的電學(xué)實(shí)驗(yàn)，外接不同的測試設(shè)備，可以完成對器件的電學(xué)特性測量、參數(shù)測量、DC測量。緊湊的桌面設(shè)計(jì)是學(xué)術(shù)和實(shí)驗(yàn)研究的最佳選擇。

特點(diǎn)
? 樣品座可以放置最大4英寸的晶圓樣品
? 樣品座下方位移座可實(shí)現(xiàn)樣品座三維精細(xì)位移調(diào)節(jié)使得樣品測試和換樣更加便捷。
? 最多可安裝6個(gè)探針臂
? 探針臂采用磁鐵吸附，可任意移動(dòng)，并且可以三維微調(diào)，操作方便，扎針精準(zhǔn)，四個(gè)探針臂的探針可以扎到樣品的任意位置。
? 探針臂采用三同軸線纜和三同軸接頭，漏電流小，在100fA以內(nèi)
? CCD最大放大倍數(shù)為180倍，最大工作距離為100mm

型號分類：

參數(shù)和指標(biāo)：

• 集成電路
• 芯片
• 晶圓片