產(chǎn)品簡介
PSM-PM系列永磁鐵低溫探針臺是一款專門針對低溫垂直磁場電測環(huán)境開發(fā)的探針臺，提供0.5T垂直磁場，能夠?qū)?寸、4寸、晶圓片進行重復性的、標準的電學實驗，外接不同的測試設(shè)備可以完成對器件的電學特性測量、參數(shù)測量、DC測量、RF測量和霍爾測量。永磁鐵低溫探針臺PSM-PM系列，具體參數(shù)請咨詢客服！
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永磁鐵低溫探針臺PSM-PM系列
產(chǎn)品概述
隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展，對于精密微?。{米級）的微電子器件，要去測試它在低溫環(huán)境或者變溫環(huán)境下的的電學性能（如電流、電壓、阻抗等）時，配有顯微鏡的低溫探針臺能夠提供良好的低溫電測環(huán)境。
永磁鐵低溫探針臺在科學研究和技術(shù)開發(fā)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。它能夠在低溫環(huán)境下對樣品進行各種非破壞性的物理性能和電學性能測試，幫助研究人員深入了解材料或者器件的各種物理性能和電學性能，從而為新材料的研發(fā)和應(yīng)用提供重要的數(shù)據(jù)支持。
PSM-PM系列永磁鐵低溫探針臺是一款專門針對低溫垂直磁場電測環(huán)境開發(fā)的探針臺，提供0.5T垂直磁場，能夠?qū)?寸、4寸、晶圓片進行重復性的、標準的電學實驗，外接不同的測試設(shè)備可以完成對器件的電學特性測量、參數(shù)測量、DC測量、RF測量和霍爾測量。
技術(shù)參數(shù)
參數(shù)和指標：
| 探針臺主機分類 | ||||
| 型號 | PSM-PM-2 | PSM-PM-2H | ||
| 溫度范圍 | 80K--500K | 80K--800K | ||
| 控溫穩(wěn)定性 | +/-50mK | +/-100mk | ||
| 樣品座 | ||||
| 類型及材料 | 無氧銅接地鍍金樣品座 | 無氧銅接地樣品座 | ||
| 尺寸 | 2寸 | 2寸 | ||
| 可選規(guī)格 | 絕緣樣品座 （溫度只能到400K） 同軸樣品座 （溫度只能到400K） 三同軸樣品座（溫度只能到400K） | |||
| 探針臂 | ||||
| 類型 | 直流探針臂 | |||
| 數(shù)量 | 4 | |||
| 接頭及電纜 | 三同軸接頭+極細同軸低溫電纜 | |||
| 漏電流 | 100fA@1V 真空環(huán)境中 | |||
| 信號頻率 | DC--50MHz | |||
| 匹配阻抗 | 50歐姆 | |||
| 位移范圍 | Z +/-6.5mm R+/-10° X+/- 50mm,Y+/- 12.5mm | |||
| 光學系統(tǒng) | ||||
| 顯微鏡放大倍數(shù) | 10--180倍 | |||
| 分辨率 | 3微米 | |||
| 視場 | 22mm | |||
| 工作距離 | 90--100mm | |||
| 真空腔 | ||||
| 材料 | 鋁合金 | |||
| 腔體容積 | 4L | |||
| 整體尺寸 | 800*800*600 | |||
| 腔體內(nèi)徑 | 124mm | |||
| 視窗尺寸 | 0mm | |||
| 真空腔體窗口 | 紅外吸收窗口 | |||
| 防輻射屏窗口 | N/A | 標準石英窗口 | ||
| 真空度 | 5*10E-4 torr | |||
| 預留接口 | 2個探針臂接口&2個電學接口 | |||
| 防輻射屏材料 | N/A | 不銹鋼 | ||
| 液氮腔體 | ||||
| 液氮容量 | 0.5L | |||
| 冷卻時間 | 60分鐘到80K | |||
| 液氮消耗量 | 0.2L從室溫到80K | |||
| 液氮保持時間 | 4小時@80K | |||
| 滑臺 | ||||
| X-Y移動行程 | 2/4寸:X-Y軸±50mm | |||
| 讀數(shù)精度 | 10μm | |||
| 永磁鐵組件 | ||||
| 磁場大小 | 0.5T | |||
| 磁鐵間距 | 30mm | |||
| 磁鐵極面尺寸 | 50mm | |||
| 專用振動隔離桌 | ||||
| 尺寸 | 800*800*800 | 900*900*800 | ||
| 桌推 | 固定腳&滾輪 | |||
應(yīng)用領(lǐng)域
-
集成電路 -
芯片 -
晶圓片
